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碳化铬复合耐磨钢板复合离子结构及其结构和性能

编辑: 发布于:2017/11/23 16:13:35 点击量:

研究氢氧共注入以降低

碳化铬复合耐磨钢板

圆片生产成本,和氮氧共注入形成新结构以提高抗总剂量辐照性能。实验发现

碳化铬复合耐磨钢板

圆片的制备过程中引入氢离子,样品结构会产生比较大的变化。氢致缺陷的存在使成核速率变大,氢的存在加速氧的扩散速率,使得退火时氧的内扩散和外扩散同时增强,并促进氧沉淀的生长,从而导致埋层增厚。室温氢离子注入比高温注入增厚效应明显。实验中,大家得到了增厚10%的连续埋层,质量良好。加大氢离子注入剂量后,由于未相应调整退火工艺,样品埋层因退火不充分形成了一个增厚幅度从28%到161%的分布极广的富氧区域,埋层不连续。氢的不同剂量能量搭配对富氧埋层的分布和形貌都有影响。进一步适当调整注入条件和退火工艺,有希翼得到具有可观增厚致密连续埋层的

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,这对降低生产成本有重要意义。采用氮氧共注入形成新型

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。通过大量不同注入条件和退火工艺的制备和测试分析,发现

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的结构对注入条件和退火工艺非常敏感,并找到了比较好的注入能量、剂量搭配以制备高质量的

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;氮、氧均有在界面处富集的趋势;对各种氮氧复合注入技术作了初步分析和比较,倾向采用注氧-退火-注氮-退火的制备方法。从抗辐射原理出发认为

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一样具有天然的抗瞬态剂量率效应和抗SEU效应能力。对低剂量

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圆片进行了抗总剂量辐照的实验。发现辐射对器件的漏源电流特性、转移特性和亚阈值漏电特性等电学性能影响很小。实验结果说明低剂量

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圆片已经能初步用于抗辐射MOS器件的实际制作。对

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进行了抗总剂量辐照的实验,并与

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进行对比。发现

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具有更优良的抗总剂量辐照能力。

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的优良抗总剂量辐照能力的主要原因是存在于埋层内部的大量断键。

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具有全面的抗各种辐射的优良能力,同时又具有SOI材料的各种优点,生产基本兼容于

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,具有广阔应用前景。
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